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  • 262017-07
    我司射频电源选用高质量的元件和成熟的设计方案,使产品的可靠性、寿命达到最优化,从而使您的投资和制程能力最大化地利用。用户界面友好,操作简单,上手容易,可为顾客减少人员培训成本,提高操作人员工作效率。整个电源系统采用PIC逻辑芯片和顶级的A/D转换芯片去闭环控制射频输出功率,使该产品具有极其稳定的功率输出,减少了由等离子体阻抗变化引起的功率波动。
  • 262017-07
    光伏行业 在太阳能的前端制作设备中PECVD和刻蚀工艺的核心设备用到射频电源和自动匹配器,我们有非常专业的国外技术,为您提供最优质的产品。 成功应用9-12台匹配器到一个单腔体多极板的PECVD系统中,打破国外产品在该领域的垄断。并与多家太阳能公司替换损坏的AE匹配器。
  • 262017-07
    自动匹配器与射频电源配套使用,我司自动匹配器采用独特的“梯度下降高速调谐算法”,这种高速调谐算法能在接近调谐点时逐渐减缓调节速度,该匹配网络配备了微处理器控制步进马达电路
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